GIS ASSY,INSULAT

二氟化氙气体，用于电子显微镜单支气体注入系统，二氟化氙（非金属增强刻蚀气体）是存放二氟化氙药品的容器和气体注入一体化系统，将药品加热到一定温度，药品气化，在真空压差和可控阀门的作用下，将药品气体喷洒在样品表面，同时在离子束的共同作用下实现对样品的增强刻蚀。